MEMS工艺相关论文
随着物联网和微电子技术的飞速发展,MEMS技术在与传统传感器行业紧密结合,MEMS传感器将是传感器的必然趋势,国家也高度重视MEMS传......
随着无线通讯技术在毫米波和太赫兹频段的快速发展与应用,对功率器件的输出需求也越来越大,单个的功率放大芯片难以满足大功率输出......
太赫兹技术作为最为瞩目的前沿技术之一,在国防、航天、医学、通信、食品、环境等领域具有广阔的应用前景。作为太赫兹系统的核心......
在喷墨打印技术中,压电喷墨打印技术凭借良好的液体兼容性、较高的工作频率和分辨率、较长的工作寿命和较低的工艺成本,不仅在图文......
透射电子显微镜利用电子束与样品相互作用成像,可提供原子分辨率的结构和成分信息、原子尺度的空间结构和化学成分等信息,是研究材......
对楔形腔光场传输模式进行对比分析,改变MEMS工艺参数,加工出楔角外侧下边缘带有“齿”的10°楔角楔形腔;设计光纤架与壳体,采用力......
微波带通滤波器是微波通信系统中的关键器件。本文设计了一种利用硅MEMS腔体技术制作的微波窄带带通滤波器。采用交指结构四分之一......
小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子(纳电子)技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术，它是随着MEMS技......
传统W波段功率合成器因为尺寸大很难与其他平面电路集成,限制了其在小尺寸平台上的应用。为了解决这个问题,开展高效率、小型化功......
航空发动机的噪声往往蕴含着丰富的信息,可以作为航空发动机设计评价、故障预警和诊断以及寿命预测的重要依据。航空发动机存在高......
采用表面MEMS工艺制作了二维多通道的硅基微电极阵列,用于提取脑神经电信号.在整个工艺制作过程中需要三步光刻,制作的硅针长1·2 ......
采用压阻式原理振动传感器的加速度敏感芯片是基于MEMS工艺技术制造,敏感芯片的硅微结构要具有良好的弹性形变性能和显著的压阻效......
本文采用CoventorWare软件设计了一种与半导体工艺兼容的基于MEMS工艺的磁芯微电感.在输入电压1V时，分别在直流输入及1KHz低频......
硅基MEMS工艺和溅射薄膜传感器进行有机结合，将硅基MEMS工艺小型化、成本低、产量大的优点和溅射薄膜传感器高稳定性的优点同时......
介绍一种高声压级噪声传感器，通过MEMS工艺制造的压阻原理敏感元件，在高声压级(120dB～150dB)动态范围内的线性度小于1％，频率响应为30Hz～8......
太赫兹滤波器在太赫兹通信和雷达系统中起着举足轻重的作用.本文采用附加传输零点的二阶波导滤波器形式,设计了一种中心频率为......
糖尿病已在全球范围内呈现出流行态势,成为严重危害人类健康的重大疾病。因而发展面向糖尿病的新型有效检测技术,对糖尿病的早期诊......
随着能源的日益紧张,能量收集技术备受关注,而微型传感器的发展使得能量收集器被广泛研究。其应用领域也呈现多样化,包括监测传感......
气体传感器阵列不仅能弥补单一气体传感器选择性差的缺点，还可以充分利用其交叉敏感性，并结合一定的模式识别技术，实现传感器的高精度......
学位
随着微惯性测量系统应用的日趋广泛,微小型化是微惯性测量系统发展的重要方向。本文主要通过对微惯性测量系统中加速度计和开关两......
随着人们在燃气计量管理中对计量结算的科学合理性认识的不断提高，传统的容积计量已不能满足要求，传统的流量计容易受天然气的压力和......
离子迁移率谱仪(IMS)是一种通过鉴别特征离子来检测痕量物质的高灵敏度分析仪器。样品分子的离子化是离子迁移率谱仪工作过程中不......
射频通信产品市场的飞速发展刺激了对RFMEMS产品的需求，使得近年来RFMEMS市场呈抛物线趋势增长。相比于传统的射频器件，MEMS工艺加工......
氮化镓(Gallium Nitride,GaN)材料,在光电器件以及高频、高功率微波器件领域已经取得了令人瞩目的科研成果,并被称为继硅和砷化镓......
基于声波技术的器件已经在射频领域和传感领域得到了广泛的应用。薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)是其中一......
以金属材料制成的传统冲击片雷管点火系统具有很强的抗电磁干扰、抗射频干扰能力和可靠性高等优点。半导体桥火工品与冲击片雷管相......
本论文是在国家科技部集成光电系统973项目的支持下，于北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室完成的。 本文设计的一种全新的......
上个世纪90年代初，在分析化学领域提出了微全分析系统（miniaturized total analysis system，即μ-TAS）概念，而集成在微流控芯片上的微阀......
路面传感器在公路交通领域很有重要的应用，如可以为公路气象站服务，远程监控特定地点，全天候、方便、快速、准确的提供路面路况信息。......
在社会的众多领域中,压力传感器都起到了很重要的作用。根据相关资料得知,压力传感器的种类很多,其中在硅质材料上完成的占大多数......
流量传感器是一种使用十分广泛的流量检测前端器件，随着智能化的普及，工业、农业等众多领域对用来完成流量智能控制的流量传感器要求......
用于EEG检测的干电极制备和研究是目前脑电信息检测技术的热点和难点[1]。传统湿电极具有诸多不便和弊端[2]，基于MEMS工艺的微......
傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)是一种干涉型光谱仪，具备探测波段宽、信噪比高等优点，已经广泛应用于科研及生产领域。随着科技的发展，在......
以铁酸铋(BiFeO_3,BFO)作为压力敏感材料,利用其压电特性,将通过静电纺丝法制备的纳米纤维与光刻、溅射、干法刻蚀等MEMS加工工艺......
本文研究了低浓度TMAH溶液对(110)和(100)面的腐蚀选择性,并测量了不同温度和浓度下对(110)和(100)面的腐蚀速率,探索了能使硅微通......
作为喷墨打印技术的重要分支,压电式喷墨打印技术凭借其打印分辨率高、成本低、使用寿命长和墨水兼容性好等优点,在印刷电子、细胞......
上海深迪半导体的6轴IMU芯片已于2017年10月交由成都格芯（Globalfoundries）正式进入量产。通过过去半年的市场验证和客户使用，产品性......
高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法......
在微射流陀螺工艺制造和设计的基础上，针对MEMS热敏元件的工艺信息，对其进行MEMS工艺仿真技术的研究。建立了MEMS热敏元件工艺结构的......
简要分析由MEMS工艺制成的新型微气体传感器阵列的原理及其优点,在此基础上,应用人工神经网络对气体传感器阵列的输出进行模式分类......
文章提出了一种应用MEMS工艺实现的新型小型化Ka波段滤波器。利用在腔内加载了切角的近似方形脊的矩形波导结构实现双模滤波，有效地......
在2006慕尼黑国际电子元器什和组件贸易博览会上，英飞凌科技股份公司展出了适用于普通消费通信设备和计算机通讯设备的“微型”硅基......
设计了一种微型内燃机燃烧室中的点火装置，该装置为电容放电系统，电极采用金，悬臂梁结构，利用MEMS工艺制作。讨论了电极加工的技术关键......
对楔形腔光场传输模式进行对比分析,改变MEMS工艺参数,加工出楔角外侧下边缘带有＂齿＂的10°楔角楔形腔;设计光纤架与壳体,采用力......
介绍了硅各向异性腐蚀的特点和采用的模型,分析影响硅各向异性腐蚀速率的因素,然后借助计算机MEMS CAD软件ACES和IMEE对硅在KOH溶......
